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石英振梁加速度计

石英振梁加速度计

石英振梁加速度计

外形尺寸：7.5 x 1.5mm

体积≤12x12x4mm³

带宽>800Hz

量程±30g

高精度

高稳定性

基于石英振梁谐振原理，适用于惯性导航、地震检测等高精度场合

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产品特点产品尺寸电性能参数

产品特点

高稳定性
高精度

产品尺寸

产品尺寸

电性能参数

技术指标	石英振梁加速度计
体积	≤12x12x4mm³
带宽	>800Hz
量程	±30g
动态电阻(MΩ)	≤1.2
动态电感(KH)	≤1.2
动态电容(fF)	≤2.0
静态电容(pF)	≤1.5
串联谐振频率(kHz)	34.5~35.5
Q值	2200~2600
串联谐振相位(^。)	≥-15

电极绝缘电阻：

采用绝缘电阻仪测量两电极间的绝缘电阻，要求绝缘电阻（50V，＞1TΩ）

芯片材料：

芯片的基材：Z 切石英晶片；

石英晶片的晶向：（zyw）0°，切角公差：±5’；

Q 值：300 万以上（A 级）；

包裹体密度：Ia 级无籽晶；

隧道密度：小于 10 条/cm(1 级)；

石英晶片为双面抛光，无亮点、麻点等缺陷；

电极薄膜的材料：Cr/Au 双层薄膜，纯度：99.99%，其中底层 Cr 膜的厚度

为（30±5）nm，顶层 Au

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